高精度測量顯微鏡MF/MF-U系列產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：
|
型號 |
HyperMF-B2515B |
HyperMF-UB2515B |
HyperMF-UD2515B |
HyperMF-UE2515B |
HyperMF-UF2515B |
|
|
貨號 |
176-430*1 |
176-431*1 |
176-432*1 |
176-433*1 |
176-434*1 |
|
|
光路 |
|
有限校正光學(xué)系統(tǒng) |
無限校正光學(xué)系統(tǒng) |
無限校正光學(xué)系統(tǒng) |
無限校正光學(xué)系統(tǒng) |
無限校正光學(xué)系統(tǒng) |
|
標(biāo)準(zhǔn)分劃板（內(nèi)置） |
90o點劃線十字線(線寬5μm) |
|||||
|
可調(diào)瞳距 |
西登托夫型調(diào)節(jié)范圍：51-76mm |
|||||
|
光路切換比 |
觀察/TV顯微攝影=50/50 |
|||||
|
垂直傾斜度 |
25o |
傾斜 |
||||
|
TV端口 |
作為標(biāo)準(zhǔn)配置提供 |
|||||
|
觀察圖像 |
正像 |
|||||
|
目鏡 |
放大倍率 |
10X, 15X, 20X |
||||
|
物鏡（可選） |
|
可選單筒目鏡(配有一個目鏡) |
配備兩個10X目鏡 |
|||
|
ML系列物鏡 |
1X,3X,5X,10X,20X, 50X,100X |
— |
||||
|
BF（亮視場） |
— |
M Plan Apo, M plan Apo SL, G plan Apo |
||||
|
BD（亮/暗視場） |
— |
BD Plan Apo, BD Plan Apo SL |
||||
|
轉(zhuǎn)塔（可選） |
BF（亮視場） |
— |
(配有四孔手動傳感器/電動五孔傳感器*2) |
|||
|
BD（亮/暗視場） |
— |
(配有四孔手動傳感器/電動五孔傳感器*3) |
||||
|
聚焦部分 |
工件高度 |
可達(dá)150mm |
||||
|
測量精度 |
(1.5+0.01L) μm L：測量長度(mm) |
|||||
|
驅(qū)動方式 |
使用控制手柄進(jìn)行電動控制 |
|||||
|
照明裝置 |
透射照明裝置 |
遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，內(nèi)置孔徑光闌，鹵素?zé)襞?12V，50W)，100級光強度可調(diào)，光纖冷光照明 |
||||
|
反射照明裝置 |
科勒照明，可變孔徑光闌機制，鹵素?zé)襞?12V，100W)，100級光強度可調(diào)，光纖冷光照明 |
|||||
|
工作臺 |
測量范圍（XxY） |
250×150mm |
||||
|
測量精度*4（X和Y軸無負(fù)載） |
(0.9+0.003L) μm L：測量長度(mm) |
|||||
|
工作臺臺面尺寸 |
460×350mm |
|||||
|
載物玻璃有效尺寸 |
300×200mm |
|||||
|
旋轉(zhuǎn)角度 |
±3o |
|||||
|
承重 |
30kg |
|||||
|
驅(qū)動方式 |
使用手柄進(jìn)行電動控制 |
|||||
|
檢測器 |
高精度光柵尺(磚利) |
|||||
|
數(shù)顯 |
分辨力 |
0.01μm |
||||
|
顯示軸 |
X, Y, Z |
|||||
|
數(shù)據(jù)處理裝置 |
QM-DATA200或Vision Unit |
|||||
|
操作部分 |
手柄急停按鈕 |
可用 |
||||
|
精細(xì)間距 |
可用 |
|||||
|
數(shù)據(jù)輸出 |
可用 |
|||||
|
數(shù)字顯示復(fù)位 |
可用 |
|||||
|
照明光強度控制 |
可用 |
|||||
|
LAF（只對焦） |
— |
— |
可用 |
|||
|
LAF（跟蹤對焦） |
— |
— |
可用 |
|||
|
轉(zhuǎn)塔控制 |
— |
可用 (安裝電動轉(zhuǎn)塔時) |
||||
|
重量 |
顯微鏡主機 |
約250kg |
約255kg |
|||
|
電源裝置 |
14kg |
|||||
|
電源 |
100 - 240V AC, 50/60 Hz *大功耗：700W |
|||||
|
產(chǎn)品特點 |
|
★MF-U 系列的電動型。X、Y 和 Z 軸均為電動控制，工作臺可由控制手柄進(jìn)行操作。 |
|
BF（亮視場） |
型號 |
MF-UG2017D |
MF-UG3017D |
MF-UG4020D |
MF-UE2017D |
MF-UE3017D |
MF-UE4020D |
|
貨號 |
176-784*1 |
176-785*1 |
176-786*1 |
176-790*1 |
176-791*1 |
176-792*1 |
|
|
BD（亮/暗視場） |
型號 |
MF-UH2017D |
MF-UH3017D |
MF-UH4020D |
MF-UF2017D |
MF-UF3017D |
MF-UF4020D |
|
貨號 |
176-787*1 |
176-788*1 |
176-789*1 |
176-793*1 |
176-794*1 |
176-795*1 |
|
|
觀察圖像 |
BF(亮視場)，DF(暗視場) (僅MF-UC和MF-UD型)，偏光，微分干涉對比(DIC)/正像 |
||||||
|
目鏡 |
屈光度調(diào)節(jié) |
10X(標(biāo)準(zhǔn)選件) (視場數(shù)：24)，15X，20X |
|||||
|
物鏡（可選） |
BF(亮視場) |
M Plan Apo, M Plan Apo HR, M Plan Apo SL, G Plan Apo (所有鏡頭) |
|||||
|
BD(亮/暗視場) |
BD Plan Apo, D Plan Apo HR, BD plan Apo SL (所有鏡頭) |
||||||
|
照明裝置（二選一） |
LED照明裝置 |
透射照明：遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，內(nèi)置孔徑光闌，白色LED光源，無極亮度調(diào)節(jié)，冷卻風(fēng)扇 |
|||||
|
鹵素照明裝置 |
透射照明：遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，內(nèi)置孔徑光闌，鹵素?zé)襞?12V, 50W)，無極亮度調(diào)節(jié)，冷卻風(fēng)扇 |
||||||
|
影像AF*2 |
√ |
√ |
|||||
|
激光AF*2 |
一 |
√ |
|||||
|
XY軸 |
測量范圍 |
200×170mm |
300×170mm |
400×200mm |
200×170mm |
300×170mm |
400×200mm |
|
Z軸 |
測量范圍 |
220mm |
|||||
|
測量精度*3 |
（X和Y軸無負(fù)載） |
(2.2+0.02L) μm L：測量長度(mm) |
|||||
|
數(shù)顯計數(shù)器 |
分辨力 |
1/0.5/0.1μm 可切換 |
|||||
|
型號 |
MF-G2017D |
MF-G3017D |
MF-G4020D |
|
|
貨號 |
176-781*1 |
176-782*1 |
176-783*1 |
|
|
觀察圖像 |
BF(明視場)/正像 |
|||
|
目鏡 |
屈光度調(diào)節(jié) |
10X(視場數(shù)24)，15X，20X |
||
|
物鏡 |
|
ML系列3X物鏡(標(biāo)配), 1X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X |
||
|
照明裝置（二選一） |
LED照明裝置 |
透射照明：遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，內(nèi)置孔徑光闌，白色LED光源，無極亮度調(diào)節(jié)，冷卻風(fēng)扇 |
||
|
鹵素照明裝置 |
透射照明：遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，內(nèi)置孔徑光圈，鹵素?zé)襞?12V, 50W)，無極亮度調(diào)節(jié)，冷卻風(fēng)扇 |
|||
|
影像AF*2 |
? |
|||
|
XY軸 |
測量范圍 |
200×170mm |
300×170mm |
400×200mm |
|
Z軸 |
測量范圍 |
220mm |
||
|
測量精度*3 |
（X和Y軸無負(fù)載） |
(2.2+0.02L) μm L：測量長度(mm) |
||
|
數(shù)顯計數(shù)器 |
分辨力 |
1/0.5/0.1μm 可切換 |
||
